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研發獨家模組化濾網晶圓先進製程不能沒有它 從訂單掛零到五年賺四倍濾能絕地逆襲

研發獨家模組化濾網晶圓先進製程不能沒有它 從訂單掛零到五年賺四倍濾能絕地逆襲
濾能董事長黃銘文(右)關注環保議題,目前也在研究如何把淘汰濾網再利用。(圖左為總經理黃氣寶)

王子承

科技

攝影/ 陳睿緯

1329期

2022-06-08 13:09

濾網除了用在冷氣機外,也是晶圓代工廠的先進製程中,不可或缺的夥伴;
一名台積電前工程師看見商機,轉身投入這個領域,並在台灣先進製程市場獲得過半的市占。

半導體新聞經常出現、泛指十二奈米以下的「先進製程」,究竟有多難做?答案是,連比病毒的孔徑還小十倍的氣態分子汙染物(AMC)都不能放過。台灣有一家將在今年六月底上櫃的公司,就是幫助晶圓代工廠克服這種堪稱「顯微鏡級」的挑戰。

 

這家公司叫「濾能」,身兼該公司創辦人暨董事長的黃銘文,過去曾是台積電工程師,由他發明可分拆的「模組化」濾網,主要供應給晶圓代工廠的無塵室,進行空氣的微汙染防治。

 

而濾能靠著這項獨門技術,拿下全球最大晶圓代工業者的先進製程廠逾五成訂單,帶動該公司過去兩年累計獲利,超過一個資本額。

 

晶片上的電路寬度目前已經走到奈米等級,以五奈米晶片為例,倘若廠房的空氣遭到汙染,而這股髒空氣又沒有被濾網攔截,那麼,可能只要肉眼看不到的五至十七顆微粒子,就會「填滿」晶片裡的線路,導致每片售價近五十萬元的晶圓片報廢,因此,哪家晶圓代工廠能把微汙染控制得愈好,誰就能取得更好的良率。

 

不做傳統製法的追隨者

創業鑽研發燒掉一半資本額

 

黃銘文在中山大學化學所畢業後,二○○○年加入台積電,曾任工程師、AMC微汙染計畫主持人。○六年,他因為看好化學濾網的未來,決定跳槽到全球最大的濾網供應商、瑞典商「康法」(Camfil)。

 

加入康法一段時日後,黃銘文觀察到,傳統的濾網更換不易且笨重,而且每次換新,與濾網相黏、鮮少損壞的鋁質外框,也必須被迫換新,十分浪費。他深入研究發現,問題在於傳統的濾網,是把三種不同的濾材包覆在一起,無法單獨更換其中的一種。

 

碩士論文就是在研究探針該如何「回收」的黃銘文,某天突發奇想:如果把濾網「模組化」,讓人們可以自由更換裡面的單一濾材,如此一來,不僅每次被卸下的濾網重量將會減輕,更換也變得更方便,還能減少外框的浪費。

 

只是,他向公司提案後,康法擔心模組化設計,會產生洩漏汙染的風險,所以並未採用這個構想。

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