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從光學走進半導體業 曾助台積電、艾司摩爾站上要角 林本堅再挑育才大樑 傳承「深思好學」心

從光學走進半導體業  曾助台積電、艾司摩爾站上要角 林本堅再挑育才大樑  傳承「深思好學」心
清華大學半導體學院院長林本堅提起願景,強調要打造世界一流的學院,用好的師資吸 引優秀學生,並表示「台灣學生不用去留學,很多歐美學生還會跑來台灣念書」。

譚偉晟

職場

攝影/ 唐紹航

1291期

2021-09-15 15:00

今年七月,清華大學宣布林本堅接掌半導體學院院長一職,要替台灣半導體產業培育人才根本。
年近八旬的他,如何以自身經驗與教學理念,帶領學子往半導體產業向前邁步?

「我滿喜歡拍Close-up(特寫)的。」前台積電研發副總經理、如今接下清華大學半導體學院院長一職的林本堅,接受《今周刊》專訪時,不經意地聊起對攝影的熱愛,「我用一個60mm的鏡頭,它可以靠得很近,甚至貼到鏡頭仍然可以對焦。」

 

一輩子沉浸在「光」的世界中,林本堅不僅在生活中熱愛攝影,更以「微影技術」走進台積電,讓台積電從四○奈米製程加速發展,並逐步超前、位居產業前緣,成為半導體龍頭。

 

不只是台積電,如今的國際設備巨頭艾司摩爾(ASML),也靠著與林本堅的合作,一舉超越日本設備大廠佳能(Canon)與尼康(Nikon)的領先地位,成為全球半導體最關鍵的EUV(極紫外光)微影設備供應商。種種成就,讓林本堅成為改寫半導體歷史的巨擘。

 

在他的課堂上  沒有標準答案

 

二○一五年自台積電退休後,林本堅隔年在清華大學擔任教職,並於今年七月接下清華大學半導體學院院長,「這次(決定)的想法不是很難,我覺得為了學校、為了國家,我應該要出來。」林本堅開口的第一句話,鏗鏘有力。

 

事實上,林本堅在教育上的投入,不比他花在研發的時間短。過去,林本堅的父親曾在越南辦學,讓林本堅自幼就對教育事業耳濡目染。「講到教育,我父親是一個教育家,是我很佩服的人,像是新竹中學前校長辛志平,也是教育家。」他感性地說,過去辛志平校長的教育,灌輸他「很多對社會、對國家應有的抱負。」

 

對於教學,林本堅的重點在於「理解」,這也讓他的教室一直有著特別的氣氛。

 

林本堅以一個光罩與晶圓的問題舉例,「如果光打過去,不是一比一,答案起碼有四、五個。」他要求學生思考,其中會影響光的因素有什麼,「可能是兩個物質的熱膨脹係數不一樣,溫度不同時,就導致光打過來不是平行的。」

 

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