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「別讓美國不高興」 傳台積電勁敵砸50億元買新設備 因為這原因被華府封殺

荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)生產的EUV微影設備,是全球頂尖晶圓代工廠的重要武器,也成為美國封殺中國科技崛起的標的,圖為ASML把產品裝進航空貨櫃運上貨機。

劉煥彥

科技線上

ASML官網

2020-01-07 15:41

路透引述多位知情人士的說法報導,美國川普政府為了抑制中國的科技實力崛起,特別是在先進半導體的製造能力,不讓中國晶圓代工廠順利買到荷蘭半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)的最先進產品極紫外光(EUV)微影設備,不但從2018年底就開始積極遊說荷蘭政府不要放行這項交易,甚至由國務卿龐培歐(Mike Pompeo)親自說項。

這項策略似乎奏效,因為據傳由中國晶圓代工龍頭中芯國際(SMIC)耗資約1.5億歐元(超過50億元台幣)的這台EUV設備,如今過了半年仍無法從荷蘭出口到中國。

 

若上述報導屬實,這意味美國政府早就將封殺中國科技實力崛起的大網,從美國國內撒到其他盟國,而且目標早就不限華為,而是要多方面封殺中國取得西方國家先進科技的管道,從IC設計、半導體材料到尖端生產設備都是。

 

根據路透報導,從2018年底至2019年夏天,美國國防部至少四次與荷蘭軍方官員洽談這宗交易案可能帶來的安全風險,希望荷蘭政府不要核發出口許可給ASML,將最新技術的EUV設備賣到中國。

 

▲荷蘭ASML是台積電主要設備供應商,圖為在ASML產線上組裝的EUV微影設備。(圖片來源:ASML官網

 

2019年6月,美國國務卿龐培歐訪問荷蘭時,更親自遊說荷蘭總理Mark Rutte,希望他擋下這筆交易案。

 

到了7月中Mark Rutte訪問美國,在白宮會見川普總統時,美國副國家安全顧問Charles Kuppermany再度向隨行荷蘭官員提起這件事,白宮官員也提出一份機密情報報告給荷蘭總理參考。

 

Mark Rutte結束訪美行程後不久,荷蘭政府決定不對ASML核發新的出口許可,使得這台造價約1.5億歐元的機器遲遲未能出口。

 

對於上述報導,荷蘭總理辦公室及白宮都拒絕回應。

 

▲荷蘭ASML是歐洲半導體設備大廠,也是台積電、三星、英特爾等全球頂尖晶圓代工廠的重要設備供應商。(圖片來源:ASML官網)

 

ASML從未透露這台EUV設備的買家身分,但日本經濟新聞去年11月曾報導,買方就是中國最大晶圓代工業者中芯國際,也是台積電在中國的最大競爭對手。

 

ASML獨門生產的EUV微影設備,堪稱是台積電7奈米製程量產的夢幻武器,也是台積電、南韓三星電子及美國英特爾進攻先進製程的重要設備。

 

至於各家晶圓代工廠都在搶訂EUV微影設備,到底這種技術有多神奇? 

 

▲荷蘭半導體設備大廠ASML的EUV微影設備,一台造價高達50億元台幣,也是台積電等頂尖晶圓代工廠的夢幻武器。(圖片來源:ASML官網)

 

2017年9月中芯國際共同執行長趙海軍在北京微電子國際研討會中演講時指出,EUV將在7奈米製程形成主流,EUV變化非常大,很多環節都要重新開始,變化太快。 

 

他說:「28奈米工藝如果到7奈米,性能可以增長68%,如此巨大的增長,很多foundry(晶圓廠)一定會去做,做製造的時間非常重要,foundry一定要在接到訂單60天之內從把硅片(晶片)交出去,後續還要做封裝測試這些東西,大概需要一個月,這樣正好一個季度。」 

 

「EUV最大的優點是可以20多天出廠,而用其他工藝要80多天,做大生產必須要用到EUV。」 

 

中芯國際:有了EUV 生產天數可從80天降到20天

 

荷蘭ASML則是全球晶片微影技術的領導廠商,服務全球主要晶圓廠和晶片製造廠,2016年以1000億元新台幣收購當時台股股后漢民微測科技,是該年度台灣第二大外商投資案。 

 

目前ASML在桃園、新竹、台中、台南設有客戶服務據點,並在林口和台南設有製造廠,生產ASML的光學和電子束檢測設備。 

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