成立十五年的宇川精密,成功從太陽能轉進半導體前驅物市場,成為國內少數可從頭到尾自主合成、純化先進製程中「原子層沉積前驅物」的廠商,它究竟是如何做到的?
南部科學園區邊陲地帶,靜靜矗立著一棟玻璃帷幕建築。從外觀看,它只是一座看似無害的科技業廠房,實際上,它卻是被台南市消防局、環保局以及南科管理局列管的公安高風險熱點。
建築物所有人宇川精密董事長郭文哲解釋,遭公部門嚴加看管的原因,是工廠裡生產的半導體前驅物,屬於第三、四類公共危險品,只要接觸到些許空氣或水氣,就可能自燃甚至爆炸。
- 半導體前驅物:在化學反應或製造過程中,會轉化成另一種活性物質的初始物質。在半導體領域,特別指應用於沉積薄膜的化學氣體或材料。
然而,這些裝在高壓鋼瓶裡、讓人避之唯恐不及的液態前驅物,卻是直接影響先進製程半導體性能和良率的關鍵材料。