「不是只有晶圓製造需要研發，蓋廠房的技術，也需要研發。」高科技廠房設施協會創辦人之一、臺灣大學土木工程學系教授張陸滿說的，是讓晶圓廠能持續運作的廠務系統，近年來隨著高科技廠的技術同步推進，「像是進入7、5奈米先進製程，水要多乾淨、廠區內震動要怎麼處理，這些都要研究。」
日期：2025-05-14
