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資本額僅七千萬 竟開發出前瞻鍍膜技術 半導體關鍵設備MIT 旭宇騰拚出領先

資本額僅七千萬  竟開發出前瞻鍍膜技術  半導體關鍵設備MIT  旭宇騰拚出領先
旭宇騰董座王春暉(左)表示,旭宇騰在工研院的專利與模擬分析技術等支援下,成功開發出全球領先的二奈米製程Hy-ALD鍍膜設備。(圖右 為工研院機械與機電系統研究所所長饒達仁)

曾仁凱

科技

攝影/ 陳睿緯

1399期

2023-10-11 12:15

台灣半導體製造實力享譽全球,但關鍵製程設備多掌控在歐、美、日大廠手中,這次國產新設備成功突破國際大廠嚴密防線,為台灣設備自主邁出重要一步。

以「護國神山」台積電為首的台灣半導體供應鏈,享譽全球,但是在半導體的前段製程設備方面,主要仍掌控在歐、美、日等國際大廠手中,國內廠商多半只能供應一些零組件或周邊清洗設備,尤其是前段的鍍膜、微影等關鍵製程,更是台廠難以跨越的禁區。

 

不過,這道由國際大廠設下的嚴密防線,最近出現破口。

 

國內一家資本額僅有七千萬元的「半導體設備整合服務供應商」旭宇騰,日前宣布開發出「二奈米製程Hy-ALD複合式鍍膜設備」,消息一出,讓原本主宰市場的美商應用材料、荷商先藝(ASM),全都大吃一驚。

 

內藏深厚功力

改機服務打進兩家國際原廠

 

雖然公司規模尚小,但在半導體業界,旭宇騰已然小有名氣,客戶包括台積電、力積電、世界先進、茂矽、旺宏,以及美光、中芯、華虹宏力等海內外晶片製造大廠,服務足跡遍及台灣、韓國、中國、俄羅斯與新加坡等地。

 

旭宇騰董事長王春暉,出身自全球最大的半導體設備龍頭美商應材,曾在台灣應材工作十年時間,「在應材那段時間,累積下的專業知識與人脈,是旭宇騰能夠走到今天最主要的能量所在。」王春暉接受《今周刊》專訪時直言。

 

王春暉回憶道,當初在應材負責帶領團隊,從事新機設備安裝調試、故障排除修復等工作,也曾參與德碁半導體(台積電七廠前身)、茂矽電子八吋生產線等台灣早期晶圓廠的設立,從中打下技術基礎及客戶關係。

 

二○○四年,王春暉決定自行創業,成立旭宇騰,雖然自立門戶,但新公司仍繼續為應材提供半導體設備改機與維修服務,雙方關係不滅。

 

工研院機械與機電系統研究所所長饒達仁觀察,「半導體設備複雜,旭宇騰公司不大,卻能幫國際大廠設備翻新,提供零組件維修、機台拆移機等服務,顯示其技術深厚。」他強調,「一般能打入一家國際原廠就滿厲害,旭宇騰是同時打進兩家,更凸顯其功力。」

 

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