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京鼎子公司攻微汙染防治設備 成先進製程良率關鍵 20年祕訓 凱諾拿下晶圓代工龍頭訂單

京鼎子公司攻微汙染防治設備  成先進製程良率關鍵  20年祕訓  凱諾拿下晶圓代工龍頭訂單
黃俊凱20多年前在工研院研究超潔淨技術,種下與微汙染防治設備的淵源。

王子承

科技

攝影/蕭芃凱

1399期

2023-10-11 13:10

過去代工色彩濃厚的京鼎,竟有一支成軍長達二十年的自動化技術團隊,打進晶圓代工龍頭供應鏈,在手客戶有聯電、美光、英特爾,這團隊是如何產生?又如何抓住知名客戶?

隨著半導體製程演進到二十奈米以下,就連在晶片生產過程中的AMC(微汙染防治)也變得重要。如果監控不周,不但會讓晶片材料容易變質、導致良率不佳,晶圓盒內氮氣若不小心外洩,也會危及產線人員安全。

 

因此,在晶圓盒內填充氮氣,防止晶圓氧化,以及監測內部空氣溼度、含氧量的設備,竟成維持先進製程良率的重要關鍵。而這項充氮、檢測設備的幕後推手,就是台灣半導體設備廠京鼎的子公司凱諾科技。

 

過去京鼎被人所熟知的,是國際半導體設備大廠應用材料的代工廠,但鮮為人知的是,他們在二○一九年成立子公司凱諾,除了研發用於先進製程的AMC設備,在全球晶圓代工龍頭占比達五成外,也開發出機能水生成設備、半導體製程自動化設備,交貨給上述大廠,此外就連聯電、英特爾和美光等半導體大廠,也都是凱諾的客戶。

 

十年前轉型  聚焦半導體設備

 

然而,為何這家代工色彩極重的設備廠,會孵出擁有自主研發能力的設備子公司呢?這當中的關鍵人物,就是凱諾科技總經理黃俊凱。

 

笑說自己是京鼎第三號員工的黃俊凱,二十多年前在工研院機械所任職,當時就開發出一系列超潔淨專利與設備,為了把技術推到產業中,他與團隊夥伴在○一年加入京鼎。

 

京鼎商業模式以代工為主,黃俊凱與團隊也開始替半導體設備客戶代為設計、製造自動化設備,後來轉型做面板、LED(發光二極體)與太陽能自動化設備的研發,但上述產業面對中國日漸失去競爭力,加上客戶不再有代工需求,因此一三年京鼎前董事長劉應光要求團隊,把目光重新轉回半導體設備的研發。

 

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