半導體測試解決方案品牌商蔚華科技（3055）攜手旗下數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。
這套採用先進非線性光學技術對SiC（碳化矽）基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助於改善製程。
若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年約800萬美元（約2.5億台幣）因蝕刻而損耗的成本。
碳化矽需求大爆發 市場供不應求 生產設備需求連帶向上
隨著電動車成為各國重要政策，化合物半導體（或稱第三類半導體）中的SiC晶片需求大爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，遠遠供不應求。
化合物半導體的基板材料品質，決定了下游晶片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下。
目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業布局以搶攻市占率。基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量，更能及早發現問題，進而有效改善製程、提升良率，進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。
JadeSiC-NK以非線性光學檢測 可降低成本、提高產能
南方科技總經理王嘉業日前在新產品發表會上說明，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，而JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握基板品質，未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。
王嘉業指出，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。
若以每個長晶爐每月產出四個晶錠為例，採用JadeSiC-NK後，每個晶錠可省下二片基板成本（每片6吋基板以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下台幣250萬元。
若是具有100個長晶爐的基板廠，一年即可省下台幣2.5億元，更何況「通常中國的基板廠都是500~1000個長晶爐起跳的，不會只有100個，這也是全世界（SiC）基板廠遇到的問題。」
南方科技做出先端產品 + 蔚華科技發掘市場商機
對於蔚華科技與南方科技的合作關係，身為南方科技大股東的蔚華董事長秦家騏有個妙喻。
「以前我們是做（半導體設備）代理銷售，就像奶媽是抱別人兒子，他考上台成清交也不是我的功勞，是他媽媽會生；抱得不好就是我的錯，所以我們有了這次結合。」
「希望搭配南方的技術，把東西做出來，就有能力去賣。」
「南方比較是技術導向的小巨人，我們（蔚華）手上有市場，看怎麼把它做成量產化的產品。」
國內半導體設備廠自有技術 進攻全新的化合物半導體市場
這套國內自力開發的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，是南方科技醞釀三年多的成果，已經有7~8家碳化矽基板廠上門做材料測試，從台灣、中國到歐洲都有，可望成為國內半導體設備製造商進軍化合物半導體市場的重要產品。
蔚華科技成立於1987年，是大中華地區半導體封測解決方案專業品牌，擁有先進的全方位解決方案及産品，提供半導體各個製程與不同産品的測試、封裝、檢測、驗證等設備銷售、應用工程與客戶服務需求，合作夥伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導體設備領導品牌。
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